TiMgN复合膜相关硕士博士期刊学术论文

本文采用磁控溅射仪制备了一系列不同Mg含量、不同B含量、不同Mo含量的TiMgN、TiBN、TiMoBN的复合膜,利用了X射线衍射仪(XRD)、场......