TiN厚膜失效机制相关硕士博士期刊学术论文

本文采用多弧离子镀技术在金属铍表面制备TiN厚膜.利用扫描电镜对TiN厚膜的形貌、成分进行研究；探讨了多弧离子镀制备的TiN厚膜的失......