TiZrN薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

TiZrN薄膜相关论文

占空比对复合离子沉积TiZrN薄膜的影响

本文采用复合离子镀方法制备Ti Zr N薄膜,研究基体脉冲偏压占空比变化对薄膜结构和性能的影响规律。利用扫描电子显微镜观察薄膜表......

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复合离子沉积 TiZrN薄膜占空比微观结构硬度

TiZrN薄膜不同Zr含量时的微观结构及摩擦学性能

为了进一步评价Zr含量对TiZrN薄膜摩擦学性能的影响,采用反应磁控溅射法制备了Ti1-xZrxN薄膜（0.14<x<0.56）。通过XRD,SEM技术分析了T......

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TiZrN薄膜摩擦磨损微观结构反应磁控溅射

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