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UV-LIG相关论文

UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响

为提高微机电系统（MEMS）万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......

期刊

微机电系统(MEMS) UV-LIGA 工艺误差万向惯性开关阈值 micro-electro-mechanical system（MEMS） UV-LIG

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