VOz薄膜相关硕士博士期刊学术论文

采用射频磁控溅射沉积方法,在加热衬底上溅射制备高价态的五氧化二钒(V2O5)薄膜,再结合气氛退火工艺制备VO2薄膜.系统分析了不同溅......