WTi靶材相关硕士博士期刊学术论文

WTi薄膜是集成电路中扩散阻挡层的主要材料之一。随着集成电路的微型化,对WTi薄膜的阻挡性能提出了更高的要求。WTi薄膜的粒子污染......