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X射线小角度掠射法相关论文
Mo/Al软X射线光学多层膜的结构及其热稳定性
利用四对靶溅射的方法制备了Mo/Al光学多层膜,通过X射线小角度掠射法(LAXD)、断面高分辨透射电镜(HREM)以及透射电镜(TEM)等分析手段,研......
期刊
Mo/Al多层膜
软X射线光学
X射线小角度掠射法
微结构
热稳定性
Mo/Al multiayers
soft X-ray mirrors
low-ang
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