ZGO薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

ZGO薄膜相关论文

基体温度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响

利用中频磁控溅射方法，溅射Ga2O3含量为5．7wt．％的氧化锌镓陶瓷靶材，在不同的基体温度下制备了ZGO薄膜。研究了基体温度对ZGO薄膜的晶体......

期刊

基体温度 ZGO薄膜磁控溅射电阻率透射率 Substrate temperature ZGO thin film Magnetron sputteri

功率密度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响

利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为6.7wt%的氧化锌镓陶瓷靶材,在低温下(约40℃)制备了ZGO薄膜.考察了溅射功率密度对ZGO薄膜的......

期刊

磁控溅射 ZGO薄膜溅射功率密度电阻率透过率

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