采用Zn靶和ZnO（掺2%Al2O3（质量分数））陶瓷靶在玻璃衬底上共溅射沉积Al掺杂ZnO薄膜,即ZnO：Al透明导电薄膜,研究Zn靶溅射功率（0～90 W）和衬底......