ZnO:Ti薄膜相关论文
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果......
利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对T......
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,两种衬底上的ZnO:Ti......
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表......
为优化ZnO:Ti复合薄膜制备工艺,采用射频磁控溅射法在不同氧氩比条件下沉积ZnO:Ti复合薄膜,得到的样品经由EDS能谱仪检测Ti掺杂质量分......
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的掺钛氧化锌透明导电薄膜(ZnO:Ti)。研究了溅射压强对ZnO:Ti薄膜结构、形貌和......