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ZnS钝化膜相关论文
3英寸锗基HgCdTe表面ZnS钝化膜的应力研究
针对大面积碲镉汞表面钝化膜的应力问题,基于磁控溅射技术在3inGe基碲镉汞表面采用不同工艺条件沉积了ZnS钝化膜,并对其进行了退火......
期刊
表面钝化
ZnS钝化膜
钝化膜应力
退火
AFM
锗衬底
碲镉汞
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ZnS passivation film
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