Zr-B-N薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

Zr-B-N薄膜相关论文

N2流量比对复合磁控溅射Zr-B-N薄膜结构和性能的影响

目的在反应沉积时补充金属离子,增加薄膜中金属氮化物硬质相的数量,优化复合磁控溅射Zr-B-N薄膜的制备工艺,揭示N2流量比(N2/(N2+A......

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纳米复合薄膜 Zr-B-N薄膜显微硬度膜/基结合力摩擦系数 nanocomposite filmZr-B-N filmmicrohardnessadhes

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