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随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响
基于分形几何理论表征了MEMS径向气体轴承的随机粗糙表面,修正了气体的雷诺方程,研究了径向轴承中气体薄膜在滑移效应和粗糙度耦合......
期刊
微机电系统
径向气体轴承
滑移效应
分形几何
粗糙表面
micro-electro-mechanical system(MEMS)
gas-lubricate
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