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h-BN:C薄膜相关论文
碳/硅掺杂六方氮化硼(h-BN)薄膜的制备与性能研究
六方氮化硼(h-BN)作为一种类石墨烯Ⅲ-Ⅴ族半导体材料,拥有众多良好的物理化学性能。而在进行选择性掺杂后,h-BN将具有优异的导电、......
学位
h-BN:C薄膜
h-BN:Si薄膜
RF磁控溅射
IFBP磁控溅射
退火处理
层状结构
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