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水热-溶胶凝胶法制备PZT薄膜
采用水热-溶胶凝胶法制备了锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷薄膜。首先利用水热法处理Si基板,使之生成SiO2/Si 层,然后采用旋涂法在处理好的Si基......
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