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用等效电路研究微梁共振器的尺寸效应

对受磁力驱动的机械微梁共振器进行了振动分析,得到了输出电压与输入电流之间的关系.据此关系,给出了该机械微梁共振器的等效电路......

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等效电路微梁共振器尺寸效应品质因子洛伦兹力 resonator resonant frequency quality factor leng-sc

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