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micro-rotating-structure相关论文
微旋转结构法测量Al薄膜的残余应力
薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力.文中采用MEMS工艺制......
期刊
微旋转结构
Al薄膜
残余应力
micro-rotating-structure
Aluminum thin film
residual stress
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