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micro-tip相关论文
微尖的两种制作工艺
描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过......
期刊
微尖
制作工艺
各向异性
电镀
传感器微型化
micro-tip
anisotropic etching
bonding
electroplating
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