介绍了193nm浸没式光刻技术的兴起和面临的挑战。在所涉及的材料方面，对第一代、第二代及第三代的浸没液体进行了介绍，对顶部涂料的......

2007年9月英特尔推出全球首款32nmSRAM，2007年11月JBM推出32nmSRAM；2007年12月台积电推出32nm测试芯片。业界认为，2009年下半年量产32......