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测量精度达2.6°的光外差干涉仪用动态相位计
结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪,文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合......
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外差干涉
表面粗糙度
磨床加工
相位测量
heterodyne interferometer
surface roughness
phasemeter
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