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N2O Plasma表面处理对SiNx基IGZO-TFT性能的影响
采用N20plasma处理SiNx薄膜作为绝缘层,以室温下沉积的铟镓锌氧化物(IGZO)作为有源层制备了IGZO薄膜晶体管。与常规的IGZO-TFT相比,N2O......
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薄膜晶体管
INGAZNO
plasma处理
N2O
thin-film transistor InGaZnO plasma treatment N2O
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