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测量线性工作台滚转角误差的多探头法
针对线性工作台运动过程中的滚转角误差,提出一种多探头测量方法.与传统的用2个位移传感器和1个具有高平面度的感应物测量滚转角误差......
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线性工作台
滚转角误差
位移传感器
顺序两点法
linear stage
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sequentia
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