sub-half-micron相关论文
介绍了用电子束直写GaAs图片上制作≤0.5μm栅和T形栅的工艺技术，并在GaAs器件的研制中得到应用。......
介绍了用Leica VB5电子束曝光系统在涂敷有PMMA电子束抗蚀剂的4英寸铬板上,通过扫描曝光、湿法显影、干法刻蚀等手段制作亚微米、......
