亚微米导电率相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

亚微米导电率相关论文

平面亚微米导电率精确测量及其在MEMS器件无损检测中的应用研究

亚微米尺度下,导电率的变化与此尺度下的缺陷或疲劳失效有着十分紧密的联系,而“亚微米”是MEMS导电薄膜器件结构特征尺度范围,且......

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亚微米导电率原子力显微镜导电率形貌图 MEMS器件无损检测

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