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溶胶-凝胶工艺制备LiCl/Al<,2>O<,3>硅基复合湿敏薄膜及其结构与性能的研究
采用溶胶-凝胶工艺,将氯化锂作为敏感组元复合到多孔二氧化硅中,经过适当的热处理,可获得在全湿量程范围内阻值范围适中,线性度良......
学位
溶胶-凝胶工艺
复合薄膜
全湿量程
LiCl/SiO
AlO
湿敏
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