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参考面精度相关论文

用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析

光刻投影物镜元件面形精度为纳米量级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米量级。为了完成光刻投影物镜的光学元件面形检测任务,提出了......

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测量误差分析参考面精度环境控制菲佐干涉仪 measurement error analysis accuracy of the reference su

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