四步沉积法相关硕士博士期刊学术论文

提出了一种包括晶粒接种、高温退火、成核、生长四过程的薄膜沉积新方法，用射频率等离子体增强热丝化学气相沉积系统，在Ｎｉ衬底上制备了......