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大面积均匀沉积相关论文
磁控共溅射制备无氢碳化锗薄膜的结构和性能研究
第Ⅳ主族元素单质及其合金材料是目前材料科学领域研究开发的重点和热点之一。碳化锗(Ge1-xCx)薄膜以其特有的结构、光学和电学性......
学位
无氢碳化锗
磁控共溅射
键合结构
力学和光电性质
大面积均匀沉积
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