微型硅加速度计相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

微型硅加速度计相关论文

静电力平衡式微型硅加速度计方案分析

静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度......

期刊

微型硅加速度计静电力平衡回路刚度 micro Silicon accelerometer electrostatically force-balance

微米／纳米技术在微惯性器件中的应用

微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在......

期刊

微型硅加速度计纳米技术微型惯性器件电容传感器差动电容力矩器摆片电容器极板静电力挠性结构

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