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微型质谱相关论文
针对气体样品的微型质谱仪等离子体源的设计与制造
微型质谱仪因其便携性和高效性近年来受到各国相关研究者的广泛关注。作为关键部件的等离子体源的微小化研究也受到很大重视,并有......
学位
微型质谱
等离子体
MEMS
硼硅酸玻璃
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