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为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路.该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放......
为降低新能源汽车雨量监测系统功耗,提出基于摩擦纳米发电机(TENG)的自驱动、自清洁雨量传感器.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备......
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究.根据谐振......
为了减小正交耦合误差对硅微电子机械系统(MEMS)陀螺仪性能的影响,提高陀螺仪零偏精度,对MEMS陀螺仪正交耦合补偿技术进行研究.建......
可变形反射镜作为自适应光学系统的核心部件,通过与微电子机械系统(MEMS)技术的结合向微型化、集成化的方向发展.基于压电材料的逆......
为进一步提高微热对流式惯性传感器的设计精度与灵敏度,对常用的悬臂梁结构进行了优化.设计了三种不同悬臂梁结构尺寸的微热对流式......
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为达到拓宽有效输出带宽的目的 ,设计了一种二自由度的锆钛酸铅(PZT)悬臂梁式压电能量采集器.通过激光切割加工悬臂梁式压电能量采......
根据惯性微流控粒子分选原理,设计并制备了基于收缩-扩张结构的微流控芯片,用以实现不同直径粒子的连续分离,并利用COMSOL软件对通......
设计了一种基于氮化铝(AlN)材料的压电连续面型变形镜，采用理论分析和COMSOL仿真对该AlN MEMS变形镜的结构进行了优化，拟合了前14项Z......
基于塞贝克原理,在聚酰亚胺薄膜上采用溅射、光刻和剥离工艺制成由78对Cu-Ni热电偶组成的闭合回路热电堆,可满足人体穿戴设备对灵......
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根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Mul-tiphysics(R)软件对空洞层上硅(SON)结构的形成过程......
简要介绍了磁张量仪的基本概念与种类划分,并对不同种类的磁张量仪进行对比.阐述了国内外磁通门磁张量仪的发展历史,包括十字型、......
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设计并制备了一种基于还原氧化石墨烯(RGO)材料的电阻式湿度传感器,该湿度传感器的关键部分采用叉指电板结构,它是利用沉积、光刻......
设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传......
乙炔(C2H2)气体是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,乙炔气体检测是实现变压器故障在线监测的关键.现有的乙炔传感器存在灵敏......
弹体在高速侵彻过程中的姿态偏转是影响其效能的重要因素,利用微电子机械系统(MEMS)陀螺仪进行姿态测量是监测弹体姿态变化的主要......
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传统Ag/AgCl湿电极存在柔韧性差、稳定性不高等缺点,已不能满足应用于智能可穿戴设备采集表面肌电信号(sEMG)的需求。提出一种通过......
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了......
粘片工艺过程中产生的热机械应力是微电子机械系统(MEMS)芯片的主要误差源之一。为了降低粘片工艺应力对MEMS芯片的影响,提高MEMS......
随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量......
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,电容式微机械超声换能器(CMUT)以其良好的特性在超声成像领域获得越来越多的关注,为了验证不......
针对传统农用植保无人机(UAV)在喷洒作业过程中受环境风速影响造成的农药飘移及喷洒效率低等问题,研制了一种可应用于植保UAV的大......
压电材料可以将机械能转化为电能的特殊性质引起了基于压电材料的能量采集器的研究.概述了压电能量采集器收集能量的原理,分别介绍......
微电极阵列可在彼此独立的电极点上通过改性材料修饰完成多功能集成,是脑机接口的核心部件.使用微电子机械系统(MEMS)工艺结合溅射......
采用倾斜溅射工艺制备了一种Cr/Ti/Ni三层金属吸气剂薄膜,其中Ti薄膜作为主吸气层,Cr薄膜为沉积在Ti下方的阻挡层,Ni薄膜为覆盖在T......
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流......
在密闭腔室,设计加热器和测温元件结构并充入气体后加热,腔室内可以形成稳定的热对流场.由于气体存在惯性,当外界有加速度作用时,......
设计并制备了一种X波段微电子机械系统(MEMS)环行隔离滤波芯片,该芯片以高阻硅作为衬底材料,由2个MEMS环行器、1个薄膜匹配电阻以......
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水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能.针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的......
基于高温环境下压力实时监测的广泛需求,设计并制备了一种最大量程为1.5 MPa的绝缘体上硅(SOI)压阻式压力传感器.根据压阻效应原理......
胃癌细胞源外泌体作为生物标志物在胃癌早期检测中有着极大的应用潜力。但外泌体分离难度大,这一问题极大地限制了外泌体的临床应......
p型4H-SiC相较n型4H-SiC具有更高的压阻效应,p型4H-SiC正方形膜片作为弹性元件相较圆形膜片具有更高的灵敏度。基于此,设计了一种......
碱金属蒸气腔室广泛用于原子钟和原级温度计等重要领域,与其相适配的微型加热器对碱金属蒸气腔室的应用有着重要的影响。设计了一......
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率.该......
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依据高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)原理,设计了一种迁移区和收集区一体化式的微型化FAIMS气体传感器.电离区采用能量为10.6 eV......
介绍了一种新型非谐振式微电子机械系统(MEMS)电磁振动能量采集器的设计、微加工和表征测试.该能量收集器由MEMS结构、线圈、小型......
随着微波系统大功率、超宽带的发展,对功率分配/合成结构的性能提出了更高的要求,超宽带、低损耗、小尺寸、易于集成的功分器成为......
微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复......
为解决传统∑△闭环控制系统存在的量化增益不可控问题,设计了基于3-level量化技术的改进系统;针对此系统应用于微电子机械系统(ME......
基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利......
设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力......
提出了一种基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度、快速响应的微电子机械系统(MEMS)湿度传感器.该湿度传感器的制备工艺简单方便、成本低......
作为一种微米尺度的类似针状器件,微针可以克服传统经皮给药(TDD)的局限,在皮肤上无痛、无出血地产生微米量级的孔洞,提高药物尤其......
基于微电子机械系统(MEMS)工艺设计并制作了一种THz垂直转接结构,该结构采用6层硅片堆叠的硅微波导形式.理论分析计算了垂直转接结......
为了满足湍流探测高灵敏度、高分辨率的要求,提出了一种新型纤毛微电子机械系统(MEMS)湍流传感器.基于MEMS技术制作了硅十字梁敏感......
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设计了一台微电子机械系统(MEMS)电子听诊器,并应用于冠心病心音的检测中.首先,介绍了MEMS电子听诊器核心敏感单元微结构设计原理,......
基于玻璃通孔(TGV)技术的微电子机械系统(MEMS)封装可用于传感器无引线封装,研究了基于纳米玻璃粉末热回流工艺的新型TGV实现方法.......
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢......
针对目前压阻式水听器在工作时需要外加电源、对温度敏感以及制造过程复杂的问题,提出了一种以AlN为压电材料的压电薄膜式水听器.......
利用移动X射线光刻工艺,制备了六种不同深宽比的等腰三角形结构的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微通道.基于毛细管原理,将PMMA微通道与老......
