抽气特性相关论文
溅射离子泵又被称为潘宁泵,主要由钢制阳极筒、钛合金阴极板、铁氧体永磁铁、过载保护直流电源、不锈钢泵体等部分组成。具有工作......
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅......
水蒸气喷射制冷系统是一种利用工业余热,太阳能等低温热源来达到制冷效果的设备,在能源日益紧张的今天,对其作持续的研究有着非常......
本文提出了一种可在低温（２５Ｋ）工作的新型机械泵设计，并对其工业样机进行描述，由于气体密度与温度的变化成反比，对于给定的则言，该泵的质量流......
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采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响.指......
低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障，使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化，对制冷机一，二级......
建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜......
