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拍频测量相关论文

激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响

拍频干涉法可用于纳米，亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要敢决于单位频差－位移当非线性，本文对影响非线性的因素进行了试验分......

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干涉仪拍频测量频率位移拍频法纳米级位移测量非线性误差测量精度激光功率 Interferometer Beat frequency measur

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