挤压膜阻尼相关论文
MEMS谐振器作为振荡电路中的振荡器和谐振式微传感器有着广泛的应用,挤压膜阻尼是影响其性能的重要因素。然而在大克努森数下宏观......
微机械谐振器作为MEMS中最常见的基础部件,其尺寸常接近于微米或者微纳米级别。由于微尺度效应的影响,气体阻尼对其品质因数有着至......
MEMS微谐振器件,是MEMS领域中比较典型的一类器件,该器件工作在微机械结构的固有频率附近,品质因数Q是微谐振器中的一个关键指标,......
学位
在过去的三十年中，微电子机械系统(MEMS)发展迅猛。随着MEMS技术的迅速发展，许多微机电器件和系统顺势而生。其中，有一类MEMS器件是利......
随着MEMS谐振器应用的日益广泛，业界对于该器件的设计制造也提出了更高的要求。由于谐振器的尺寸较小，在工作时会受到比较大的气体阻......
本论文主要是研究在微电子机械系统(MEMS)中空气挤压膜阻尼效应对微谐振器件影响。微电子机械技术在过去的二十多年里发展非常迅速......
本论文主要研究微电子机械系统(MEMS)中空气挤压膜阻尼效应对微谐振器件的影响。微电子机械技术在过去的二十多年里发展非常迅速，出......
对于MEMS谐振器件,品质因数是衡量其动力学特性的重要指标。高品质因数表示MEMS谐振器件振动过程中能量损耗较慢,且具有更高的灵敏......
随着精密加工技术和微电子技术的发展，出现了越来越多的微电子机械系统（Micro-electro-mechanical System，以下简称MEMS）器件。在MEMS......
针对MEMS密闭腔内微气流与压电驱动机构的耦合振动,综合采用空气挤压膜阻尼效应和能量法进行理论分析。根据等温雷诺方程求解气体......
正确预测MEMS器件的挤压膜阻尼在器件的设计阶段具有非常重要的意义。提出了一个新的、考虑直流偏置电压引起静态变形的挤压膜阻尼......
针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题,采用了多重网格方法进行求解,与传统方法相比,应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速......
利用有限元或边界元等方法分析和仿真MEMS器件,需要耗费大量的计算资源来求解大规模耦合常微分方程组。这些方法还难以满足器件的......
正确预测挤压膜气体阻尼对于微机械谐振器件的设计是至关重要的。目前,当气压不太低时,已经有比较完善的连续介质模型能描述挤压膜......
利用Wavelet-Galerkin方法对求解微机械谐振器件的挤压膜阻尼进行计算。首先选定一个微谐振器件挤压膜阻尼的模型,并列出它的微分......
