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新型铁电薄膜相关论文
下电极TiN粗糙度对HZO薄膜铁电性的影响
传统钙钛矿铁电薄膜具有一系列优点的同时也具有较为明显的缺点,主要包括:与Si工艺兼容性较差、物理厚度较大、带隙宽度较小以及非......
期刊
新型铁电薄膜
下电极粗糙度
HZO(HZO)
new-type ferroelectric thin filmbottom electrode roughnes
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