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椭偏光谱术相关论文
硅片抛光工艺质量微细差别的椭偏光谱法鉴别
用椭偏光谱研究了硅片抛光的表面质量.假设一个四相模型,对测量数据进行分析处理.结果表明,(ⅰ)用带间光谱的E_1结构,可以分辨表层......
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