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氧化镓(β-Ga2O3)是一种新型直接带隙宽禁带半导体材料,具有禁带宽度大(4.9eV),击穿场强高(8MV/cm),可用熔体法直接生长大尺寸单晶等......
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为了快捷、精准测量脆性易解理氧化镓晶体的断裂韧度,为氧化镓精密加工提供理论依据。采用G200纳米压痕仪对氧化镓晶体进行纳米压......