涡旋真空泵相关论文
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代......
在相关试验的基础上,通过分析软件ANSYS和C++语言编程对涡旋真空泵工作过程的流场进行了模拟分析,获得了涡旋真空泵运行工况下个月......
分析了大排气量单涡圈涡旋式机械设计中存在的问题，进而提出双涡圈以及多涡圈的几何理论以及结构参数的设计计算方法．通过对单涡圈、......
本文根据平行平板间稀薄气体的流动理论,建立了涡旋真空泵压缩腔的气体泄漏、压力分布和传热模型,通过上述模型的数值计算对涡......
随着科学技术的飞速发展,对于全密封式无油涡旋真空泵的需求显得日趋迫切。特别是在高纯气体、核工业气体的传输和储存以及半导体......
在对涡旋真空泵运行温度场采用大型有限元分析软件ANSYS进行模拟与研究的基础上,对其工作过程的应力与变形进行了模拟分析。相关结......
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真 空高(≤5×10-1 Pa）和不易仿制等优点，在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业 。......
本文介绍了固体润滑技术的润滑机理和影响因素,结合涡旋真空泵的结构特点,对固体润滑技术在涡旋真空泵的应用进行了分析研究.......
目前,涡旋真空屏蔽泵在国内比较少见,常见的传统结构涡旋真空泵泵头与电机以轴承机械密封,漏率较高。当涡旋真空泵用于传输有毒有......
常规真空泵采用简单的动密封,无法实现理想的密封状态,采用屏蔽式电机驱动,可以实现绝对无泄漏,避免外界介质进入确保真空度稳定。......
涡旋真空泵具有简单，密封性有好，极限真空高（可达５×１０＾－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，目前在国外，仅有少数几个公司有产品问......
在涡旋真空泵相关试验的基础上,通过大型有限元分析软件ANSYS对其工作过程的温度场进行了模拟分析.相关结果表明,软件分析基本上可......
涡旋干式真空泵具有泵内清洁无油、工作压力范围宽、体积小、振动小、噪声小等优点,被广泛应用于各种清洁真空环境,如半导体制造、......
学位
世界上先进的工业国家都在争取发展新一代的清洁真空获得设备,涡旋真空干泵是一种新型的无油直排介质的机械泵,它具有结构简单、气......
目前,涡旋真空屏蔽泵在国内比较少见,常见的传统结构涡旋真空泵泵头与电机以轴承机械密封,漏率较高。当涡旋真空泵用于传输有毒有......
润滑油是一种由石油中提炼且具有高附加值的产品,因其良好的润滑、冷却、防锈及密封等性能,被广泛应用于各种机械设备中。一些润滑......
本文利用场路结合法,研究设计了涡旋真空泵驱动电机,并实验仿真分析了控制方式的效果,验证了本文设计的涡旋真空泵用驱动电机方案......
