液动压悬浮抛光相关论文
面向纳米薄膜生长衬底的原子级超光滑表面要求,提出了液动压均匀分布的悬浮抛光新方法。该方法的核心技术是采用抛光液浸没工件的......
为了探究液动压悬浮抛光工件表面的应力松弛规律,课题组利用有限元法建立了液动压悬浮抛光过程中单/多颗磨粒连续撞击工件的数值分......
提出一种新型液动压悬浮抛光方法,阐述液动压悬浮抛光的基本原理,通过对结构化单元的划分及其流体液动压力的研究,推导出液动压承......
纳米材料和纳米技术的快速发展,使得纳米薄膜在工程领域得到了广泛应用。目前常用的纳米薄膜制备方法,如离子束溅射沉积、磁控溅射......
纳米薄膜独特的力、光、电磁效应,使其在微电子、光学、生物等领域应用广泛。原子级超光滑衬底表面是制备纳米薄膜的基石,衬底表面......
针对液动压悬浮抛光固-液两相流中固相颗粒与工件表面撞击的过程,对不同加工工况下的固相颗粒与工件表面的撞击角度和速度进行了研......
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为对液动压悬浮抛光工具盘结构参数进行优化,首先通过正交试验和CFD数值模拟,利用方差分析法分析抛光工具盘各结构参数对加工区域......