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混合分区设计相关论文

用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计

投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点，提出了一种混合分区......

期刊

光学设计衍射光学元件混合分区设计迭代傅里叶变换光瞳整形投影光刻 optical design diffractive optical element

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