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內照明蜂巢式反應器進行低濃度揮發性有機物的移除
在國内高科技半導體技術不斷發展下,預估不久未來晶片之關鍵尺寸會縮小到14奈米,在這樣精密的製程下,低濃度微污染揮發性有機污染......
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低濃度揮發性有機氣體
反應器設計
光纖
陶瓷式蜂巢載體
潔淨室
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