激光直写相关论文
现有主流光刻技术与设备变得越来越复杂的原因之一在于其仍然囿于线性光学光刻范畴，未能突破光学衍射极限，是衍射极限附近的光刻技术......
在微纳制造的发展过程中,人们追求越来越小型化的器件结构单元。为了满足制造这些器件所需要达到的加工精度,光刻技术的发展成为关......
在纳米激光直写加工系统中，显微物镜是其中的关键部件，行业发展的趋势是在大数值孔径下具有更大的物方视场，并且能适应TPP胶折射率的......
随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......
激光直写技术是一种基于双光子聚合效应实现真三维、无掩膜和非接触式的增材加工技术,双光子聚合是在超快激光作用下,材料发生双光......
随着健康监测和电子皮肤的发展,柔性可穿戴压力传感器正引起人们的广泛关注。然而,可靠、经济、高效地制备高性能压力传感器仍然是......
有机高分子光刻胶是双色光敏激光直写技术实现微纳制造的介质和载体，直接影响了其所制造微纳结构的精度、真实度等性能.采用聚乙烯......
柔性电子器件相对于传统电子器件,拥有独特的柔性和延展性,能够在一定程度上适应不同的工作环境,满足设备的形变需求.石墨烯是开发......
激光直写是一种高效、可规模化制备柔性电子器件的技术.本文采用激光直写技术在具有良好介电性能的聚酰亚胺薄膜上制备了一种可用......
透明电极（TE）由于其独特的光电特性,近年来受到广泛的关注。透明电极可作为许多光电器件的基础材料,如太阳能电池、发光二极管（LEDs）、......
目前,微型化研究领域的最前沿科学研究和技术应用已经进入纳米时代。纳米尺度的功能结构具有特殊的力学、光学和电子学等特性,随着......
Graphene is the most widely investigated two-dimensional material due to its prominent characteristics including ultra-h......
本文研究了一种利用激光直写技术在透明柔性塑料基体上制备高粘结强度银纳米结构电极的方法。本文利用硝酸银，柠檬酸三钠和聚乙烯吡......
完美涡旋光束的涡旋半径与拓扑荷数无关,且携带有轨道角动量,这使得完美涡旋光束在光学通信、量子光学以及激光制造等领域被广泛应......
衍射光栅在各行各业有着广泛的应用, 这就要求光栅必须具有良好的质量。在制作大尺寸光栅的各种方法中, 激光直写技术具有明显优势......
利用边缘光抑制技术，设计并研制了一套双光束激光三维直写光刻系统。该系统含有高速扫描振镜和三维纳米压电平台两组扫描机构，可以根......
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出......
计算全息图(CGH)在非球面、自由曲面等光学元件的高精度检测中发挥着重要作用。激光直写机床导轨的正交性误差会影响CGH 图案的绘......
为了精确地检测非旋转对称的非球面面形质量,将衍射补偿元件计算全息图(CGH)应用到非球面透射式检测光学系统中。利用计算全息图(C......
采用波长为1064 nm的光纤激光器对聚酰亚胺(PI)膜进行激光碳化工艺试验,研究了激光线间距与光斑直径、扫描速度与脉冲频率、激光功......
提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量......
目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低。为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光......
对电阻型柔性压力传感器的材料、制备和应用场景进行了简单阐述,重点介绍了通过引入微结构提升电阻型压力传感器性能的设计理念,分......
铌酸锂表面折射率的调控与表征技术是制作光波导、光频转换、电光调制等光电器件的重要支撑技术。激光直写和质子交换技术已广泛应......
目前,能源危机与环境污染是阻碍人类可持续发展的两大难题,而可再生无污染的氢能就成为了解题的关键所在,电解水制氢则提供了一条......
近年来,随着虚拟现实（Virtual Reality,VR）、人工智能（Artificial Intelligence,AI）领域的不断发展,智能穿戴与仿生探测设备的研究取得......
以石墨烯为代表的微纳结构由于其较高的比表面积和良好的导电性在传感、储能、传热和光电器件等领域应用广泛。传统石墨烯制造方法......
基于可穿戴设备在人机接口、医疗健康、运动娱乐、机械骨骼、电子皮肤等领域的广阔应用前景,近年来关于柔性材料与可穿戴器件的研......
微细电解加工（Electrochemical micromachining,ECMM）是基于电化学阳极溶解原理,以离子形式蚀除材料,是一种极具潜力的表面织构加工......
表面增强拉曼散射(SERS)光谱学作为一种重要的传感技术,具有多方面的独特优势,例如灵敏度高、特异性强、测试速度快、适用物质范围......
利用紫外光诱导还原金属前躯体硝酸银(AgNO3),直接在聚乙烯醇(PVA)薄膜中生长银纳米颗粒,成功制备出PVA/Ag纳米复合材料薄膜。利用......
为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统。以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用......
提出了一种基于4f成像系统和衍射光栅结构的连续变频技术,利用该技术设计并制造了一套三维(3D)图像激光打印系统,可实现幅面为15cm......
介绍了研制的极坐标激光直接写入系统．该系统可用于二元光学掩模的制作．最大掩模直径为１００ｍ ｍ ；最细曝光线宽为１．０μｍ ；套准精度及自动调焦精度......
本文研究了飞秒激光的光束参数对铌酸锂晶体结构改变区域的影响，飞秒激光直写入晶体制作的衍射光栅，以及飞秒激光微加工技术.......
激光直写系统是制作光刻掩模和ＡＳＩＣ器件的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室引进了国内第一台激光直写系统。利用这台系统......
光刻胶对激光能量的吸收模型是激光直写中的重要模型，它是进行邻近效应计算机模拟而实现邻近校正不可缺少的重要依据。分析了影响激......
