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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究
采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面......
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空心阴极与多弧离子镀TiN薄膜的表面形貌及性能
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