为了提高高功率激光装置光学元件的抗损伤能力，通过分析经历了上百发次高通量351 nm激光辐照的熔石英光学元件损伤的微观形貌，结合光......

反应等离子体去除表面2.5μm后,元件表面面形保持平整光滑,大尺度均方根粗糙度小于1.45 nm（测量范围为0.9 mm×1.2 mm）,表面Fe,C......