电化学微加工相关论文
由于电化学加工技术没有工具磨损，没有残余应力，没有表面和表面损伤以及热效应，因此它在先进生产领域中具有不可或缺的作用。面对集成......
该文主要包括以下几方面的内容:1、回顾了微系统的发展历史,论述了微系统与电化学之间的关系,包括电化学在微系统中的应用以及微系......
钛及钛合金具有高硬度和化学稳定性好的特点使其成为一种难切削的材料，如何提高其表面质量一直是传统和尖端制造产业中亟待完善的问......
微纳制造技术是关系国家战略暨国民经济的基础制造产业——超大规模集成电路(ULSI)、微机电系统(MEMS)、微全分析系统(μ-TAS)、现......
本文提出了脉冲约束刻蚀电化学微加工方法,从半无限和有限扩散脉冲约束刻蚀两个模型出发,从理论上探讨了它的可行性.......
将电化学加工的原理应用于微加工领域,具有可加工材料的范围广、无宏观加工作用力、工具阴极无损耗、加工表面质量好、无内应力、......
由于电化学加工技术无工具磨损、无残余应力、无表层和亚表层损伤和热效应,在先进制造领域具有不可替代的作用.面对超大规模集成电......
电化学微加工技术(Electrochemical Micromachining,ECMM)由于具有加工单位小(0.1nm以下)、无宏观加工作用力、加工的表面质量好(......
微纳米技术是近年来发展起来的一门新型的交叉学科,微纳米加工技术作为其中的一个重要基础,已经被广泛地应用于各个科研领域。传统......
硅通道板是一种新型的光电倍增器件,与传统的微通道板相比,由于采用微加工技术,具有通道孔径更小,分辨率更高,制备高长径比更容易......
本文采用P型单晶硅片，由热氧化形成SiO2掩膜层，标准光刻工艺进行图形转移，用KOH溶液湿法刻蚀制作倒四棱锥腐蚀坑列阵。在三极电解槽中......
