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SiC单晶片研磨过程材料去除率仿真与实验研究
随着人工智能和云计算等科技的崛起,SiC单晶材料制成的半导体芯片扮演着越来越重要的角色,其主要应用于电子器件、光学器件、航空......
学位
SiC单晶片
材料去除率
磨粒
研磨实验
研磨工艺参数
超硬复合材料研磨设备改造及研磨工艺参数分析
通过对YJ2M9B研磨机进行改造,实现了单面、双面研磨的自由切换,并成功用于双面异质且可加工性差别大的超硬复合材料的研磨加工,可......
期刊
超硬复合材料
设备改造
研磨
研磨工艺参数
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