硅氧化相关论文
本文作者发现一个新的物理现象:HF具有很强的增强氧化功能,微量HF气体(几百-几千ppm)可以成十倍地提高硅氧化速率.从而提出一种硅......
该文从热力学角度对ＬＰＥ中同时存在的Ｓｉ氧休与ＳｉＯ〈，２〉腐蚀的动态平衡过程进行了分析，探讨低温液相外延过程中防止硅氧化的技术条件，尝试采用Ａｕ／６０ｗｔ℅......
从热力学角度对 L PE中同时存在的 Si氧化与 Si O2 腐蚀的动态平衡过程进行了分析 ,表明在 Si的低温同质液相外延中 ,一般的 L PE......
4-氧杂-6,7-二氯庚基三甲氧基硅烷依次与二苯膦钾、气相法二氧化硅、三氯化铑作用,合成了聚-4-氧杂-6,7-双二苯膦基庚基硅氧烷铑配......
富勒烯及其衍生物的催化性能的研究是当前的一个热点，并显示出良好的工业应用前景［１］．研究表明，富勒烯及其衍生物的金属配合物对氢化［２，３］，不对......
本文对重掺杂单晶硅和多晶硅薄膜的加HF增强氧化的行为进行了研究。氧气中HF含量为480ppm,温度为750至900℃。发现重掺磷或砷的硅......
从热力学角度对ＬＰＥ中同时 Ｓｉ氧化与ＳｉＯ２腐蚀的动态平衡过程进行了分析，表明在Ｓｉ的低温同质液相外延中，一般的ＬＰＥ条件很难解决防止Ｓｉ的氧化问题。作者......
微通道由于有其特殊的结构因而能够应用在很多领域，如微通道板，微全分析系统，微型热传导器件以及微型化工设备等。近年来，由于硅微通道......
MEMS技术的发展推动了更高效,更小型化微通道的发展。由于微通道有着优良的性能,特殊的结构,因而有广阔的应用前景,目前经过科研人......
