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硅表面工艺相关论文
SU-8垂直微镜型MEMS光开关的设计与制作
介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩......
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MEMS
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垂直微镜
SU-8
静电驱动
硅表面工艺
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