磁控溅射制备相关论文
现代显示技术在飞速发展，人们对高分辨率、高帧数的需求不断提高，所以显示器对驱动器件性能的需求也不断提高。目前显示行业中使用的......
人类在发展的过程中总是不断的在向大自然学习，而人类对于超疏水现象的研究则源自于植物表面的自清洁性能。受到自然的启发，例如荷叶......
氮化钛薄膜(Titanium nitride,TiN)作为硬质薄膜的一种，具有较高的硬度、好的膜基结合力、涂层装饰性强等优点在刀具、精密零部件和......
目前，钴酸锂薄膜和钛酸锂薄膜的制备方法主要有溶胶凝胶法和脉冲激光沉积法，衬底通常为金属片或镀有金属膜层的硅片，如Pt、Si/Pt......
为实现基于纳米级力学测试方法对薄膜材料力学性能的定量检测,本文针对单晶硅和玻璃基底的纳米级厚度Ti薄膜进行了动态载荷测试.并......
HPPMS对N2的解离效果明显优于DC，并可以获得p-ZnO薄膜;ICP辅助HPPMS不仅有利于解离率的进一步提高，还以利于结晶和抑制本征缺陷的形......
采用射频磁控溅射法在不同氧氩比的条件下制备了氧化铪绝缘薄膜,分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对氧化铪薄膜的结构和表面......
应用MEMS技术制备薄膜电阻应变传感器时，需要在薄膜电阻与金属弹性体衬底表面之间溅射一层SiO2绝缘薄膜，该薄膜需具备一定的绝缘......
采用高功率复合脉冲磁控溅射技术(HPPMS)在316不锈钢、硬质合金基体上制备了TiN薄膜,首先研究了氩氮流量比、气压、脉宽等工艺参数......
会议
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备出介电性优良的PZT 薄膜，在此基础上分别用脉冲激光沉积、磁控溅射制备了Co3O4、Co......
本文工作采用低温磁控溅射方法在NSG CF51 导电玻璃上制备CdTe 多晶薄膜电池,结构为：glass/SnO2∶F/CdS∶O/CdTe/metal contact......
利用直流磁控溅射方法在硅片和钛合金基底上沉积制备了二氧化钛薄膜.主要研究了变化的基片偏压对薄膜性能的影响.用XRD和SEM分析了......
本文利用磁控溅射制备了ZnO/Ag/ZnO、AZO/Ag/AZO三层和AZO/LiF/Ag/LiF/AZO、AZO/Al/Ag/A1/AZO五层透明导电薄膜,该体系薄膜400-700......
用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备出高折射率TiO2薄膜。研究了溅射功率、基片温度以及氢气氧气流量比对薄膜的沉积速率以......
反常霍尔效应的物理机制及其标度关系一直是铁磁性材料的研究热点 [1].本文通过磁控溅射制备了[CoFeB/Pt]N 垂直磁化膜,当CoFeB 的......
本研究采用真空热蒸发制备Be薄膜对利用磁控溅射制备Be/Cu靶丸进行了前期研究，采用不同的工艺参数制备Be薄膜，研究了不同基底材......
本文阐述了在沉积Mo的玻璃衬底上采用直流磁控溅射制备Cu-In-Ga预制层，然后敞开式N2载气固态源硒化制备CIGS吸收层的材料特性。......
采用射频磁控溅射的方法制备a-Si:H薄膜，由红外、可见和紫外光谱以及拉曼谱标识。在不同溅射功率下制备a-Si：H薄膜。通过红外谱研究......
研究了在纳米厚度范围内，Ni—Al薄膜的电阻率与表面粗糙度的关系。利用直流磁控溅射方法，使用高纯度(99.99％)的Ni和A1靶，通入Ar气制备......
近年来,由于稀土元素的供应限制、价格上涨和化学不稳定性,人们对寻找不含稀土的新永磁材料产生了极大得兴趣.其中MnX(X=Ga,Al,Bi)......
会议
在不同氩氧比下,采用中频磁控溅射制备TiO2薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和可见光光度计分别测试了TiO2薄膜的晶体结......
以硅单晶片作为衬底且充当栅电极,在衬底上热生长二氧化硅薄膜作为栅介质层,磁控溅射制备的氧化锌薄膜作为半导体活性层,真空蒸镀......
本论文首先综合描述TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的发展历程,TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的结构特征、性能及其应用。简单介绍了物......
铁氧化物作为一种无毒、无污染的绿色环保材料,在许多领域有着重要的应用。近年来,人们为了得到不同形状和性能的铁氧化物材料,发......
