离子辅助沉积相关论文
为改善GaN基发光二极管(LED)的光学性能,设计并制备了具有高反射率与宽反射带宽的SiO2/Ti3O5分布式布拉格反射镜(DBR)结构的蓝光和白光G......
自倍频激光晶体同时具有激光及非线性光学性质,可在单个晶体器件中完成激光和倍频过程。该类晶体制备的激光器具备结构简单、体积......
本文阐述了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学,应力及微观特性,并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相......
腔面光学灾变(COD)是影响半导体激光器高功率输出和可靠性的重要问题。不同腔面膜的器件,其腔面光学灾变阈值差别很大。使用离子辅......
采用哈特曼夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的SiO2,TiO2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值......
介绍了等离子体离子辅助沉积技术,用该技术制备了高性能的中红外增透膜,给出了该增透膜的光学性能和耐久性试验结果。
The plasma i......
准分子激光的输出特性使它能很好地适用于多种精密材料处理和生物医学应用。然而,至今对光束传输元件尤其是膜层的光学损伤始终限制......
红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料,由于其折射率高达4.0,引起的反射损失较大,降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的......
探讨在 i- C(离子辅助沉积)硬质无定形碳膜和钢基基片之间加入碳化钛( TiC)过渡层,以 增加膜 /基附着力和结合强度的各种优越性。 SEM(扫......
产生适合于光学薄膜沉积的荷能粒子镀膜技术多种多样。在一些很普通的能量粒子沉积工艺中,用辅助离子轰击生长薄膜,或者电离蒸气......
综述了Al2O3、ZrO2功能薄膜的性能、用途、制备技术及国内外研究概况;展望了其今后的应用前景并提出了需要解决的问题。
The properties, ap......
HfO2是一种优良的高折射率材料(在可见光区域折射率约为2),并且有良好的热稳定性,熔点也很高(约为2900℃).HfO2在紫外波段的透过性也比TiO2和ZrO2好,并且这个优点......
必须承受高功率激光输出的光学元件一般都需要涂高功率薄膜。这些涂层可以是反射、透射、偏振或分束。重要的是要指出,根据应用的不......
本文介绍了激光和离子处理对金属材料热氧化、热硫化的影响,分别讨论和比较了激光和离子处理的优缺点。通过实例阐明各种处理的作......
在室温条件下采用离子辅助沉积技术在柔性衬底上依次制备无机缓冲层及In_2O_3:SnO_2(ITO)薄膜,重点研究了不同无机缓冲层对柔性ITO......
选取二氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,借助膜系设计软件优化设计膜系。采用离子源辅助沉积的真空镀膜方法,通过调整镀膜工艺参数,......
针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方......
为满足紫外告警系统成像需要,实现对太阳光谱盲区光子图像接受检测的作用,研制了一种紫外成像滤光片。采用电子束(EB)加热蒸发和离......
根据激光敌我识别系统的使用要求,选择H4和SiO2作为高低折射率材料,借助Macleod和TFCalc软件进行膜系优化设计和分析。采用电子束......
许多实际工况要求在较高压力下,使用静摩擦因数大于0.35的材料。为此自行设计了两个试验台,测试比较了粉末冶金材料、火焰喷涂材料、等离......
设计了45°入射反中波透长波分束膜系,并进行了误差仿真分析。选用"Ge+ZnS"和"ZnS+YF3"两组高、低折射率材料,采用离子辅助电子束......
氧化物薄膜近几年来受到了人们普遍的重视。MgO、SiO_2和ZrO_2等材料不仅可以用作各种电子器件中的绝缘层,还起到了隔离层的作用,......
紫外光通信作为一种新型通信手段,以其保密性高、抗干扰能力强等优点在军事领域得到越来越广泛的重视。为满足紫外光通信系统的要......
为了提高临近空间激光通信的信噪比,避免杂散光的干扰,通常采用滤光片对信号进行过滤和采集。针对通信系统滤光片的参数要求,选择......
介绍了一种1530nm透射、1560nm反射和45°工作列近红外分色片的设计与制备方法。选择Ta2O5和SiO2两种光学薄膜材料,采用多谐振腔法......
在军用光学仪器中,针对导弹探测制导光源的特殊应用,通过对材料的选择、膜系的设计和工艺参数的优化,采用电子束真空镀膜及离子辅......
为了加强国家安全和社会的安定,要求使用指纹仪进行指纹识别,身份鉴别,安全防伪,检测等。本课题主要研究用于指纹仪镜头的各种波长......
针对军用测距系统中窄带滤光片的使用要求,综合分析常用的镀膜材料的光学性能与机械性能,优化膜系设计,减小厚度监控误差,改进制备......
三维腹腔镜由多组镜片组成,要求其透过率高、成像不失真。根据其使用要求,选择合适的薄膜材料,采用电子束真空镀膜的方法并加以离......
根据红外军用探测仪窗口的特殊使用要求,本文选择了CVDZnS作为基底镀制多波段滤光膜,用以满足在1064±15nm处透过率为65%,3~5μm波段范......
该文通过理论和实验全方位地研究实验条件、近表面等离子体输运、近表面沉积粒子分布以及基底表面上薄膜生长之间的条件.首先从实......
等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术 ,本文报道了等离子辅助源的性能指标 ,用这个源制造的Ti O2 膜工艺与成......
本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、WNx和一系列ZrB2/WNx纳米多层膜,利用XRD、SEM、XP-2台阶仪、纳米力......
采用合适的离子束辅助沉积(IBAD)参数在K9基底上镀制了高激光损伤阈值的中心波长1053 nm的增透膜,分别从光谱性能、吸收性能、抗激......
介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的......
报道在不加热的基底上,由双离子束溅射或离子辅助的电子束蒸发技术制的ZrO2和TiO2单摹光学性质,并提供卫工艺参数和离子束设备的说情。这两种......
红外光学系统大多数均采用锗作为透镜和窗口的材料,由于其折射率高达4.0,引起的反射损失较大,降低了红外光能量的透过率和红外成像系统的......
等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量控制光学膜的技术,报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的TiO2膜工艺与成膜质......
分色片是成像光学系统的关键元件之一。为了满足:45。角度下使用时,0.6~1.1μm,透射率(T)大于80%;0.4-0.6μm,反射率(R)大于90%;且尤其注重0.625μm......
针对光纤通信系统中自聚焦透镜滤光膜的工作要求,设计了用于激光波段808nm的窄带滤光片,要求808nm处的透射率不小于90%,半峰值宽度......
为了提高Nb2O5薄膜的聚集密度,改善氧化铌薄膜的光学特性和机械特性,采用霍尔源离子辅助沉积(IDA)技术在K9玻璃基板上制备了Nb2O5......
针对紫外探测系统利用紫外日盲区的特殊要求,选取HfO2和Mgf2、JGS1三种高低折射率材料组合形式。在石英基底上,采用电子束和离子辅......